Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях
Автор: В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2010
ISBN: 978-5-9963-0032-7
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 288
Описание: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Цена: 398 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Фактор риска
Фактор риска (riskfactor) - характерный признак, такой, как привычка человека (например, курение) или воздействие ...
Оптимальные условия труда
Оптимальные условия труда - предпосылки для поддержания высокого уровня работоспособности (Руководство P 2.2.2006-05).
Здоровье
Здоровье - это состояние полного физического, духовного и социального благополучия, а не только отсутствие болезней или ...
Воспаление
Воспаление (inflammation) - реакция организма на повреждение (может быть острой или хронической). Острое воспаление (acute ...
Болезнь
Болезнь - это реакция организма на его повреждение. Различают следующие причины болезней: 1) механические (закрытые и открытые ...
