Физико-химические основы технологии электронных средств
Серия: Высшее профессиональное образование
Автор: В. И. Томилин
Издательство: Академия
Год выпуска: 2010
ISBN: 978-5-7695-4712-6
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 416
Описание: Изложены современные представления о физико-химических основах технологических процессов электроники, особенности термодинамики химических и фазовых равновесий, кинетические характеристики процессов. Рассмотрены процессы зародышеобразования, роста слоев новой фазы, методы проведения термодинамического анализа. Для студентов высших учебных заведений.