Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 1
Автор: А. А. Раскин, В. К. Прокофьева
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2010
ISBN: 978-5-94774-909-0
Формат: 150x220
Кол-во страниц: 168
Описание: В учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
