Автор: Д. Г. Громов, А. И. Мочалов, А. Д. Сулимин, В. И. Шевяков
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2009
ISBN: 978-5-94774-904-5
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 280
Описание: Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Цена: 428 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Условия труда
Условия труда - совокупность факторов производственной среды и трудового процесса, оказывающих влияние на работоспособность и ...
Охрана труда
Охрана труда - система обеспечения безопасности жизни и здоровья работников в процессе трудовой деятельности, включающая ...
Компенсация
Компенсация (compensation) - возмещение какого-либо функционального или структурного недостатка. Например, компенсация ...
Защита временем
Защита временем - уменьшение вредного действия неблагоприятных факторов рабочей среды и трудового процесса на работников за ...
Действие токсическое
Действие токсическое - способность некоторых химических соединений и биологических веществ оказывать вредное воздействие на ...
Экопатология детства
Экопатология детства - врожденные пороки, аллергические, хронические нервно-психические и соматические болезни, а также ...
