Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Серия: Электроника
Автор: М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2007
ISBN: 978-5-94774-336-4, 978-5-94774-337-1
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 400
Описание: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Цена: 423 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Напряженность труда
Напряженность труда - характеристика трудового процесса, отражающая нагрузку преимущественно на центральную нервную систему, ...
Лихорадка
Лихорадка (fever) или пирексия (pyrexia) - повышение температуры тела по сравнению с нормальной (т.е. выше оральной ...
Компенсация
Компенсация (compensation) - возмещение какого-либо функционального или структурного недостатка. Например, компенсация ...
Антропогенное воздействие
Антропогенное воздействие - влияние человека на окружающую среду. Чаще употребляется в негативном смысле - загрязнение, ...
Элиминация
Элиминация (от лат. еlimino - выношу за порог, удаляю) (биол.) - гибель неприспособленных особей в процессе борьбы за ...
Экологический риск
Экологический риск - анализ заболеваемости населения, наложенный на демографическую структуру и социальные аспекты.
