Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. В 2 частях. Часть 1. Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Серия: Электроника
Автор: М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Год выпуска: 2007
ISBN: 978-5-94774-336-4, 978-5-94774-337-1
Формат: 60x90/16
Кол-во страниц: 400
Описание: Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Цена: 423 руб.
Знаете ли Вы, что ...
Рабочее время
Рабочее время - время, в течение которого работник в соответствии с правилами внутреннего трудового распорядка и условиями ...
Профессиональное заболевание
Профессиональное заболевание - хроническое или острое заболевание работника, являющееся результатом воздействия на него ...
Дискразия
Дискразия (dyscrasia) - аномальное состояние тела или какой-либо его части (чаще всего связанное с его аномальным развитием или ...
Вредный производственный фактор
Вредный производственный фактор - производственный фактор, воздействие которого на работника может привести к его заболеванию ...
Болезнь
Болезнь - это реакция организма на его повреждение. Различают следующие причины болезней: 1) механические (закрытые и открытые ...
